Основне обладнання автоматизованої виробничої лінії PR Cleaning для виробників РК-дисплеїв
Автоматизована виробнича лінія для очищення PR (фоторезисту) є основним обладнанням для мокрого процесу у виробництві РК-дисплеїв. Він в основному використовується після процесу фотолітографії на підкладці масиву для ретельного видалення залишків фоторезисту, залишків травлення та поверхневих мікро-забруднювачів. Це важливе обладнання для забезпечення точності схеми панелі та підвищення виходу продукції. Ідеально адаптований до суворого виробничого середовища чистих приміщень класу 100, він забезпечує високу{5}}точність, автоматизованість-замкнутого-циклу очищення без забруднення.
Націлено на позитивні та негативні залишки фоторезисту після процесу фотолітографії, він використовує багато-етапне ультразвукове очищення + процес промивання зливу чистою водою для глибокого видалення сміття, органічних забруднень, частинок пилу та інших забруднень, що залишилися після фотолітографічного травлення. Він може ретельно видаляти мікроскопічні залишки розміром менше 0,5 мкм, запобігаючи таким дефектам, як розрив панелі, яскраві плями та плями Mura, спричинені забрудненнями. У поєднанні з високоточною-системою фільтрації 0,1 мкм це запобігає вторинному забрудненню. Забезпечує ретельне видалення-без пошкоджень, уникаючи впливу залишків адгезивних шарів на подальші процеси травлення та нанесення покриттів із рівнем охоплення видалення 100%.
Вбудований-модуль електростатичного керування ESD суворо контролює електростатичне значення в діапазоні Менше або дорівнює ±100 В. У поєднанні з порожнинним антистатичним матеріалом і без{4}}контактною технологією доставки магнітного колеса це запобігає електростатичному розряду від пошкодження точних схем панелі, а також запобігає подряпинам, сколам і утворенню пилу від тертя на скляній підкладці, таким чином максимально захищаючи цілісність підкладки.
Високотемпературна і низькотемпературна випробувальна камера постійної температури
Основа автоматизованої виробничої лінії очищення та сушіння для виробників РК-екранів включає подвійний режим сушіння: різання повітряним ножем і сушіння гарячим повітрям при постійній-температурі. Це швидко видаляє плями від води з поверхні підкладки, досягаючи висихання-без водяних слідів і слідів-. Після висихання вологість поверхні основи наближається до нуля, що дозволяє безпосередньо переходити до наступного процесу без вторинної обробки, забезпечуючи безперервність процесу. Система керування ПЛК забезпечує повністю автоматизовану-замкнуту роботу завантаження, позиціонування, очищення та розвантаження. Він підтримує-моніторинг у реальному часі та функції сигналізації для регулювання концентрації миючого розчину, температури, вологості та чистоти. Герметична камера та конструкція градієнтного негативного тиску запобігають витоку хімічного газу. У поєднанні з надлишковим тиском чистих приміщень класу 100 це також дає змогу переробляти надчисту воду, класифікувати й утилізувати відпрацьовані рідини, відповідаючи як-вимогам енергозбереження, так і захисту навколишнього середовища.
Порівняно з традиційним ручним очищенням, повністю автоматизовані виробничі лінії очищення PR мають незамінні переваги: ефективність очищення підвищується більш ніж у 3 рази, а за зміну можна обробити майже 10 000 скляних підкладок, що значно скорочує технологічний цикл; послідовність очищення чудова, ретельно видаляє мікро-залишки розміром менше 0,5 мкм, контролює частоту дефектів панелі з точністю до 0,5 PPM, ефективно уникаючи таких дефектів, як яскраві плями, темні плями та розриви ланцюга на екрані; обладнання використовує водо{6}}і енергозберігаючу-дизайн із високою швидкістю відновлення чистої води та класифікованим збором і очищенням стічних вод, що відповідає вимогам захисту навколишнього середовища; уся машина виготовлена зі стійкого до корозії-ПВХ та нержавіючої сталі SUS304, має міцне ущільнення, легке очищення та обслуговування, і придатна для 24-годинної безперервної роботи в чистих приміщеннях, ставши стандартним обладнанням для виробників РК-екранів для створення ліній високоякісних продуктів і підвищення конкурентоспроможності.
Основне обладнання фотолітографічної майстерні виробників РК-дисплеїв
Обладнання для експонування є основним обладнанням у фотолітографічній майстерні та ключовою зоною процесу виробництва РК-матриці. Також відомий як панельна літографічна машина, це високо-точний оптичний пристрій для мокрого процесу. Його головна функція полягає в тому, щоб перенести шаблон схеми підкладки на скляну підкладку, покриту фоторезистом, за допомогою оптичного впливу, що є вирішальним для формування мікро-схем на панелі. Точне перенесення малюнка схеми з фотошаблона на скляну підкладку є необхідною умовою для подальших процесів травлення, покриття та очищення PR, що безпосередньо визначає якість екрана дисплея. Обладнання використовує-безконтактний процес експонування, придатний для-великих тонких скляних підкладок РК-дисплея, уникаючи подряпин, пошкоджень і забруднення підкладки.
Основні технологічні переваги включають високо-систему вирівнювання з мікрон-рівнем або навіть під-мікрон-рівнем точністю накладення, що забезпечує нульове зміщення в багато-шаровому стекуванні ланцюгів з похибками, контрольованими з точністю до кількох тисячних діаметра волосини; використання джерела світла з рівномірною експозицією та технології динамічного фокусування для досягнення коливань енергії експозиції<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
Уся майстерня використовує монохроматичне жовте джерело світла 589 нм, яке повністю відфільтровує світло з короткою{1}}довжиною хвилі, як-от ультрафіолетове, синє та біле світло, запобігаючи передчасному запуску фотохімічних реакцій у фоторезисті, спричиняючи такі фатальні дефекти, як зміщення візерунка, неповні лінії, короткі замикання та розриви. Система освітлення використовує комбінацію спеціальних жовтих світлодіодів і дво-шарових фільтрів для запобігання витоку розсіяного світла; двері, вікна та оглядові вікна оснащені фільтруючими матеріалами проти-ультрафіолету; Мобільні телефони, фотоапарати, потужні-ліхтарики та інші зовнішні джерела світла суворо заборонені всередині майстерні, і повний-контроль освітленості запроваджено для усунення ризику передчасного опромінення фоторезисту від джерела.
Вступ до чистих приміщень класу 100 для виробників РК-дисплеїв
У сфері високо{0}}точного виробництва РК-дисплеїв чисті приміщення класу 100 (чисті приміщення класу 5 ISO) є основним виробничим об’єктом і ключовим показником технічної потужності виробника та продуктивності продукції. Вони широко використовуються на основних стадіях процесу, таких як масив, збірка комірок і упаковка модулів, провідними компаніями-дисплеями, такими як BOE, TCL CSOT, HKC і Tianma. Ці чисті приміщення мають суворі стандарти чистоти, не більше 100 зважених частинок пилу, діаметром більше 0,5 мкм на кубічний фут повітря (менше або дорівнює 3520 на кубічний метр). Цей рівень чистоти значно перевищує рівень чистоти в медичних операційних, слугуючи «жорстким бар’єром», який запобігає перешкоджанню пилу, статичної електрики та хімічних забруднень точним процесам. Це основний апаратний компонент, який безпосередньо визначає якість зображення на екрані, термін служби та коефіцієнт продуктивності.
Цех спроектований і побудований суворо відповідно до міжнародних і вітчизняних стандартів ISO. Він використовує режим вертикального односпрямованого повітряного потоку в поєднанні з чотири-ступінчастою системою фільтрації ULPA (попередній-фільтр, середньо-ефективний фільтр, високо-ефективний фільтр і над-високо-ефективний фільтр), досягаючи ефективності фільтрації до 99,999%, забезпечуючи миттєве видалення пилу та усунення мертвих зон повітряного потоку. Одночасно досягається точний контроль навколишнього середовища в усіх вимірах: постійна температура 23±1 градус, відносна вологість, що контролюється на рівні 45%-55%, підтримується позитивний тиск у чистій зоні та різниця тиску більше або дорівнює 10Па між суміжними зонами, повністю запобігаючи проникненню зовнішнього пилу; враховуючи чутливість панелей дисплеїв до електростатичного пошкодження, використовується анти{15}}статична епоксидна само-вирівнювальна підлога, а для стін і стелі використовуються сталеві пластини з нержавіючої сталі 304 і кольору чистих приміщень із суворим контролем значень статичної електрики протягом усього процесу; забезпечується додатковий контроль-для хімічних забруднювачів VOC на молекулярному рівні та прихованих перешкод, таких як мікровібрації, що відповідає вимогам нанорозмірних процесів, таких як фотолітографія, осадження тонких плівок та ін’єкція рідких кристалів.
Майстерня приймає багаторівневий проект зонування чистих приміщень, розділений на основну зону класу 100, буферну зону класу 1000 і допоміжну зону класу 10 000, з шарами, що запобігають перехресному-забрудненню, а персонал і автоматизовані конвеєрні лінії повністю розділені. Персонал має пройти потрійний процес зміни одягу, повітряного душа та електростатичного виявлення, і може входити лише після того, як одягне -костюм для чистої кімнати на все тіло,-непилові рукавички та окуляри; матеріали переміщуються через зблоковані транспортувальні вікна та проходять обробку від пилу та статичної електрики; внутрішня частина оснащена кожухами з ламінарним потоком FFU, онлайн-лічильниками частинок, датчиками температури та вологості, моніторами перепаду тиску та іншим обладнанням для досягнення 24-годинного моніторингу в режимі реального часу та відстеження даних, а також негайно видасть попередження та внесе коригування у разі ненормальних показників для забезпечення постійної стабільності навколишнього середовища.
